東京エレクトロン デバイス（株）（以下TED) は、ナノミストテクノロジーズ（株）（以下ナノミスト社）と霧化分離装置の性能向上に向けた共同開発を開始する。
化学業界での工場廃液の処理や食品業界での飲料の成分凝縮などにおいて混合液を成分ごとに分離・回収する場合、これまでは、沸点の違いを利用する蒸発・蒸留法や、圧力差や濃度差を利用する膜分離法などの手法がとられていた。しかし、これらの方法には沸騰させるために多大なエネルギーが必要、揮発性の高い液体に加圧・加熱することによる危険性、加熱による変性、装置設置のための広いスペースが必要、などの課題があった。
霧化分離装置は、超音波振動などによって混合液を数ナノメートル（nm）～数十マイクロメートル（μm）の粒子に霧化（ミスト化）し、各成分の分子量の違いなどを利用して分離・回収する独自技術を用いている。
加熱して分子間結合を完全に切り離さないため、蒸発・蒸留法に比べて省エネルギーで分離が可能。また、加圧・加熱が少ないので、揮発性の高い対象物も安全に変性させずに分離することができること、アイドリング時間の大幅な短縮により装置の動作を1秒以下で開始・停止できることも特長。小型のモジュール構造であるため、省スペースでの設置や、モジュールを複数使用することによるスケールアップが可能。また、既存技術との組み合わせも容易。
TEDは昨年より霧化分離装置の販売を行ってきた。今後は、自社ブランド事業における量産・受託開発の知見をいかし、霧化分離装置の性能向上や量産対応、品質管理、生産コストの低減などにナノミスト社と共同で取り組み、共同開発による製品化に向けた体制を強化すると同時に、化学業界や食品業界への製品導入を進めていく。
なお、共同開発の成果を一層増大させるため、TEDは2017年4月にナノミスト社に出資を行った（出資比率：1.7％）。
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【霧化分離装置】東京エレクトロン デバイス、ナノミストテクノロジーズと共同開発開始
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